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石墨舟取芯主要特点 能准确的使石墨舟承载装片车定位; 采用不锈钢制造,整机结构坚固; 采用GK系列空气过滤器只; PECVD承载车在里面可倾斜度或旋转度; 净化风机噪音小于dB。 工作区内工艺要求的洁净度。